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中科儀深耕近 70 年，實(shí)現(xiàn)國內(nèi)干式真空泵多項(xiàng)零的突破
在半導(dǎo)體制造這一 “納米級微觀手術(shù)” 中，干式真空泵作用關(guān)鍵，它能快速、潔凈地將芯片加工腔室中的空氣和氣體抽離，為芯片制造的薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工工藝提供必要的潔凈真空環(huán)境。新三板掛牌企業(yè)中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術(shù)優(yōu)勢，致力于研制先進(jìn)的干式真空泵及真空儀器設(shè)備，產(chǎn)品達(dá)到國際同類先進(jìn)水平，**。中科儀創(chuàng)建于 1958 年，前身為中國科學(xué)院直屬事業(yè)單位，是國內(nèi)**的半導(dǎo)體制造設(shè)備**部件及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，組建了多個(gè)**科研中心，是******。目前，中科儀干式真空泵已在多家**集成電路和光伏企業(yè)通過工藝驗(yàn)證并批量使用，打破了歐美及日韓企業(yè)的長期壟斷，實(shí)現(xiàn)了集成電路產(chǎn)業(yè)**部件國產(chǎn)化的多項(xiàng)零突破，有力推動了我國半導(dǎo)體等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展。
中的空氣和氣體抽離，為芯片制造的薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工工藝提供必要的潔凈真空環(huán)境。新三板掛牌企業(yè)中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術(shù)優(yōu)勢，致力于研制先進(jìn)的干式真空泵及真空儀器設(shè)備，產(chǎn)品達(dá)到國際同類先進(jìn)水平，**。中科儀創(chuàng)建于 1958 年，前身為中國科學(xué)院直屬事業(yè)單位，是國內(nèi)**的半導(dǎo)體制造設(shè)備**部件及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，組建了多個(gè)**科研中心，是******。目前，中科儀干式真空泵已在多家**集成電路和光伏企業(yè)通過工藝驗(yàn)證并批量使用，打破了歐美及日韓企業(yè)的長期壟斷，實(shí)現(xiàn)了集成電路產(chǎn)業(yè)**部件國產(chǎn)化的多項(xiàng)零突破，有力推動了我國半導(dǎo)體等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展。
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