除了熱輻射，電子設備在出現故障或異常時，還可能伴隨微弱的光發射增強。熱紅外顯微鏡搭載高靈敏度的光學探測器，如光電倍增管（PMT）或電荷耦合器件（CCD），能夠有效捕捉這些低強度的光信號。這類光發射通常源自電子在半導體材料中發生的能級躍遷、載流子復合或其他物理過程。通過對光發射信號的成像和分析，熱紅外顯微鏡不僅能夠進一步驗證熱點區域的存在，還可輔助判斷異常的具體機制，為故障定位和性能評估提供更精確的信息。芯片復雜度提升對缺陷定位技術的精度與靈敏度提出更高要求。非制冷熱紅外顯微鏡技術參數

在微觀熱信號檢測領域，熱發射顯微鏡作為經典失效分析工具，為半導體與材料研究提供了基礎支撐。致晟光電的熱紅外顯微鏡，并非簡單的名稱更迭，而是由技術工程師團隊在傳統熱發射顯微鏡原理上，歷經多代技術創新與功能迭代逐步演變進化而來。這一過程中，團隊針對傳統設備在視野局限、信號靈敏度、分析尺度等方面的痛點，通過光學系統重構、信號處理算法升級、檢測維度拓展等創新，重新定義、形成了更適應現代微觀熱分析需求的技術體系。工業檢測熱紅外顯微鏡分析熱紅外顯微鏡利用其高分辨率，觀察半導體制造過程中的熱工藝缺陷 。

EMMI 技術基于半導體器件在工作時因電子 - 空穴復合產生的光子輻射現象，通過高靈敏度光學探測器捕捉微弱光子信號，能夠以皮安級電流精度定位漏電、短路等微觀缺陷。這種技術尤其適用于檢測芯片內部的柵極氧化層缺陷、金屬導線短路等肉眼難以察覺的故障，為工程師提供精確的失效位置與成因分析。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）則聚焦于器件發熱與功能異常的關聯，利用紅外熱成像技術實時呈現半導體器件的熱分布。在高集成度芯片中，局部過熱可能引發性能下降甚至損壞，熱紅外顯微鏡通過捕捉0.1℃級別的溫度差異，可快速鎖定因功率損耗、散熱不良或設計缺陷導致的熱失效隱患。兩者結合，實現了從電學故障到熱學異常的全維度失效診斷，極大提升了分析效率與準確性。

致晟光電自主研發的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列，是電子工業中不可或缺的精密檢測工具，在半導體芯片、先進封裝技術、功率電子器件以及印刷電路板（PCB）等領域的失效分析中發揮著舉足輕重的作用。

該設備搭載——實時瞬態鎖相紅外熱分析（RTTLIT）系統，并集成高靈敏度紅外相機、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術組件，賦予其三大特性：超凡靈敏度與亞微米級檢測精度，可捕捉微弱熱信號與光子發射；高精度溫度測量能力（鎖相靈敏度達0.001℃），支持動態功耗分析；無損故障定位特性，無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術集成優勢，ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點，更能通過失效分析優化產品質量與可靠性，為半導體制造、先進封裝及電子器件研發提供關鍵技術支撐。 熱紅外顯微鏡采用先進的探測器，實現對微小熱量變化的快速響應 。

ThermalEMMI（熱紅外顯微鏡）是一種先進的非破壞性檢測技術，主要用于精細定位電子設備中的熱點區域，這些區域通常與潛在的故障、缺陷或性能問題密切相關。該技術可在不破壞被測對象的前提下，捕捉電子元件在工作狀態下釋放的熱輻射與光信號，為工程師提供關鍵的故障診斷線索和性能分析依據。在諸如復雜集成電路、高性能半導體器件以及精密印制電路板（PCB）等電子組件中，ThermalEMMI能夠快速識別出異常發熱或發光的區域，幫助工程師迅速定位問題根源，從而及時采取有效的維修或優化措施。熱紅外顯微技術可透過硅片或封裝材料，實現非接觸式熱斑定位。自銷熱紅外顯微鏡儀器

量化 SiC、GaN 等寬禁帶半導體的襯底熱阻、結溫分布，優化散熱設計。非制冷熱紅外顯微鏡技術參數

非制冷熱紅外顯微鏡的售價因品牌、性能、功能配置等因素而呈現較大差異 。不過國產的非制冷熱紅外顯微鏡在價格上頗具競爭力，適合長時間動態監測。通過鎖相熱成像等技術優化后，其靈敏度（通常 0.01-0.1℃）和分辨率（普遍 5-20μm）雖稍遜于制冷型，但性價比更具優勢。與制冷型相比，非制冷型無需制冷耗材，適用于 PCB、PCBA 等常規電子元件的失效分析；制冷型靈敏度更高（可達 0.1mK）、分辨率更低（低至 2μm），多用于半導體晶圓等對檢測要求較高的場景。非制冷熱紅外顯微鏡在中低端工業檢測領域應用較多。非制冷熱紅外顯微鏡技術參數