在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內部電路。但這種方法會破壞內部電路和引線,導致無法進行電動態分析,適用于需觀察內部電路靜態結構的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝,優點是開封過程不會損壞內部電路和引線,開封后仍可進行電動態分析,能為失效分析提供更豐富的動態數據。自動法則是利用硫酸噴射實現局部去除,自動化操作可提高效率和精度,不過同樣屬于破壞性處理,會對樣品造成一定程度的損傷。
熱紅外顯微鏡通過 AI 輔助分析,一鍵生成熱譜圖,大幅提升科研與檢測效率。長波熱紅外顯微鏡
車規級芯片作為汽車電子系統的重心,其可靠性直接關系到汽車的安全運行,失效分析是對提升芯片質量、保障行車安全意義重大。在車規級芯片失效分析中,熱紅外顯微鏡發揮著關鍵作用。芯片失效常伴隨異常發熱,通過熱紅外顯微鏡分析其溫度分布,能定位失效相關的熱點區域。比如,芯片內部電路短路、元器件老化等故障,會導致局部溫度驟升形成明顯熱點。從而快速定位潛在的故障點,為功率模塊的失效分析提供了強有力的工具。可以更好的幫助車企優化芯片良率與安全性。無損熱紅外顯微鏡品牌熱紅外顯微鏡采用先進的探測器,實現對微小熱量變化的快速響應 。
致晟光電自主研發的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列,是電子工業中不可或缺的精密檢測工具,在半導體芯片、先進封裝技術、功率電子器件以及印刷電路板(PCB)等領域的失效分析中發揮著舉足輕重的作用。
該設備搭載——實時瞬態鎖相紅外熱分析(RTTLIT)系統,并集成高靈敏度紅外相機、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術組件,賦予其三大特性:超凡靈敏度與亞微米級檢測精度,可捕捉微弱熱信號與光子發射;高精度溫度測量能力(鎖相靈敏度達0.001℃),支持動態功耗分析;無損故障定位特性,無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術集成優勢,ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點,更能通過失效分析優化產品質量與可靠性,為半導體制造、先進封裝及電子器件研發提供關鍵技術支撐。
半導體制程已逐步進入 3 納米及更先進階段,芯片內部結構日趨密集,供電電壓也持續降低,這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統熱發射顯微鏡基礎上,經迭代進化而成的精密工具。在先進制程研發中,它在應對熱難題方面能提供一定支持,在芯片設計驗證、失效排查以及性能優化等環節,都能發揮相應的作用。其通過不斷優化的技術,適應了先進制程下對微觀熱信號檢測的需求,為相關研發工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息,助力研發人員更好地推進芯片相關的研究與改進工作。
熱紅外顯微鏡通過熱輻射相位差算法,三維定位 3D 封裝中 Z 軸方向的失效層。
當電子設備中的某個元件發生故障或異常時,常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器,能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯激光器等先進技術,或其他高性能紅外傳感方案,具備寬溫區、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析,熱紅外顯微鏡能夠將電子設備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現,直觀展現熱點區域的位置、尺寸及溫度變化趨勢,從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點,實現高效可靠的故障排查。熱紅外顯微鏡利用其高分辨率,觀察半導體制造過程中的熱工藝缺陷 。廠家熱紅外顯微鏡選購指南
熱紅外顯微鏡的高精度熱檢測,為電子設備可靠性提供保障 。長波熱紅外顯微鏡
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發出的紅外輻射,將其轉化為可視化圖像,進而分析物體表面溫度分布等信息的技術。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發射紅外光,熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光,利用光電轉換將其變為溫度圖像。物體內電荷擾動會產生遠場輻射和近場輻射,近場輻射以倏逝波形式存在,強度隨遠離物體表面急劇衰退,通過掃描探針技術可散射近場倏逝波,從而獲取物體近場信息,實現超分辨紅外成像。長波熱紅外顯微鏡