微光顯微鏡的原理是探測光子發射。它通過高靈敏度的光學系統捕捉芯片內部因電子 - 空穴對(EHP)復合產生的微弱光子(如 P-N 結漏電、熱電子效應等過程中的發光),進而定位失效點。其探測對象是光信號,且多針對可見光至近紅外波段的光子。熱紅外顯微鏡則基于紅外輻射測溫原理工作。芯片運行時,失效區域(如短路、漏電點)會因能量損耗異常產生局部升溫,其釋放的紅外輻射強度與溫度正相關。設備通過檢測不同區域的紅外輻射差異,生成溫度分布圖像,以此定位發熱異常點,探測對象是熱信號(紅外波段輻射)。它嘗試通過金屬層邊緣等位置的光子來定位故障點,解決了復雜的檢測難題。鎖相微光顯微鏡對比
例如,當某批芯片在測試中發現漏電失效時,我們的微光顯微鏡能定位到具體的失效位置,為后續通過聚焦離子束(FIB)切割進行截面分析、追溯至柵氧層缺陷及氧化工藝異常等環節提供關鍵前提??梢哉f,我們的設備是半導體行業失效分析中定位失效點的工具,其的探測能力和高效的分析效率,為后續問題的解決奠定了不可或缺的基礎。
在芯片研發階段,它能幫助研發人員快速鎖定設計或工藝中的隱患,避免資源的無效投入;在量產過程中,它能及時發現批量性失效的源頭,為生產線調整爭取寶貴時間,降低損失;在產品應用端,它能為可靠性問題的排查提供方向,助力企業提升產品質量和市場口碑。無論是先進制程的芯片研發,還是成熟工藝的量產檢測,我們的設備都以其獨特的技術優勢,成為失效分析流程中無法替代的關鍵一環,為半導體企業的高效運轉和技術升級提供有力支撐。 紅外光譜微光顯微鏡售價分析低阻抗短路時,微光顯微鏡可用于未開蓋樣品測試,還能定位大型 PCB 上金屬線路及元器件失效點。
在半導體芯片的精密檢測領域,微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡如同兩把功能各異的 “利劍”,各自憑借獨特的技術原理與應用優勢,在芯片質量管控與失效分析中發揮著不可替代的作用。二者雖同服務于芯片檢測,但在邏輯與適用場景上的差異,使其成為互補而非替代的檢測組合。從技術原理來看,兩者的 “探測語言” 截然不同。
微光顯微鏡是 “光子的捕捉者”,其重心在于高靈敏度的光子傳感器,能夠捕捉芯片內部因電性能異常釋放的微弱光信號 —— 這些信號可能來自 PN 結漏電時的電子躍遷,或是柵氧擊穿瞬間的能量釋放,波長多集中在可見光至近紅外范圍。
需要失效分析檢測樣品,我們一般會在提前做好前期的失效背景調查和電性能驗證工作,能夠為整個失效分析過程找準方向、提供依據,從而更高效、準確地找出芯片失效的原因。
1.失效背景調查收集芯片型號、應用場景、失效模式(如短路、漏電、功能異常等)、失效比例、使用環境(溫度、濕度、電壓)等。確認失效是否可復現,區分設計缺陷、制程問題或應用不當(如過壓、ESD)。
2.電性能驗證使用自動測試設備(ATE)或探針臺(ProbeStation)復現失效,記錄關鍵參數(如I-V曲線、漏電流、閾值電壓偏移)。對比良品與失效芯片的電特性差異,縮小失效區域(如特定功能模塊)。 但歐姆接觸和部分金屬互聯短路時,產生的光子十分微弱,難以被微光顯微鏡偵測到,借助近紅外光進行檢測。。
此外,可靠的產品質量是企業贏得客戶信任、鞏固市場份額的基礎。通過微光顯微鏡(EMMI)的嚴格檢測,企業能確保交付給客戶的芯片具備穩定的性能和較高的可靠性,減少因產品故障導致的客戶投訴和返工或者退貨風險。這種對質量的堅守,會逐漸積累成企業的品牌口碑,使客戶在選擇供應商時更傾向于信賴具備完善檢測能力的企業,從而增強企業的市場競爭力。
微光顯微鏡不僅是一種檢測工具,更是半導體企業提升產品質量、加快研發進度、筑牢品牌根基的戰略資產。在全球半導體產業競爭日趨白熱化的當今,配備先進的微光顯微鏡設備,將幫助企業在技術創新與市場爭奪中持續領跑,構筑起難以復制的核心競爭力。 其搭載的圖像增強算法,能強化微弱光子信號,減少噪聲干擾,使故障點成像更鮮明,便于識別。自銷微光顯微鏡工作原理
我司微光顯微鏡分析 PCB/PCBA 失效元器件周圍光子,可判斷其是否失效及類型位置,提高維修效率、降低成本。鎖相微光顯微鏡對比
在故障分析領域,微光顯微鏡(EmissionMicroscope,EMMI)是一種極具實用價值且效率出眾的分析工具。其功能是探測集成電路(IC)內部釋放的光子。在IC元件中,電子-空穴對(ElectronHolePairs,EHP)的復合過程會伴隨光子(Photon)的釋放。具體可舉例說明:當P-N結施加偏壓時,N區的電子會向P區擴散,同時P區的空穴也會向N區擴散,隨后這些擴散的載流子會與對應區域的載流子(即擴散至P區的電子與P區的空穴、擴散至N區的空穴與N區的電子)發生EHP復合,并在此過程中釋放光子。鎖相微光顯微鏡對比