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來源: 發布時間:2025-07-29

分子泵軸承作為真空系統主要部件,承擔著支撐高速旋轉轉子、確保真空腔體內氣流穩定的關鍵作用。其工作環境通常要求轉速高達 10 萬 - 15 萬轉 / 分鐘,因此對軸承的動態穩定性、耐磨性能及熱傳導性提出嚴苛標準。在半導體制造中,分子泵軸承需維持納米級制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優化滾道弧度設計,使軸承在高速運轉時的溫升控制在 30℃以內,滿足半導體設備 24 小時連續運行的可靠性要求。高效散熱設計,使新巴頓分子泵軸承在運轉中保持低溫,穩定運行。奉賢區C36STAY52分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓為分子泵軸承提供專業安裝工具,提升機械裝配效率與精度。液壓螺母(型號 BARDUN-HN-01)可精確控制軸向預緊力(精度 ±2%),配合扭矩扳手(量程 5-50N?m),避免人工擰緊導致的預緊力不均;加熱線圈(頻率 20-40kHz)可在 3 分鐘內將軸承加熱至 100℃,溫差≤5℃,確保熱裝時的均勻膨脹。在自動化生產線中,這些工具與機器人裝配系統集成,實現軸承安裝的全自動化,單套軸承的裝配時間從 15 分鐘縮短至 3 分鐘,且安裝合格率達 100%。專業工具的使用減少了機械裝配中的人為誤差,保障分子泵軸承的安裝精度與可靠性。常州C1902X205Y16分子泵軸承熱傳導優化設計,新巴頓分子泵軸承結合水冷系統,控制機械運轉溫升。

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新巴頓分子泵軸承在加工過程中進行高精度動平衡處理,殘余不平衡量≤1g?mm/kg,確保機械運轉時的低振動特性。在大型分子泵機組中,軸承與轉子的組合動平衡等級達到 G1.0(ISO 1940 標準),當轉速 30000rpm 時,軸承座振動速度≤1.0mm/s。這種動態平衡技術可避免機械系統因振動導致的連接件松動、密封失效等問題,尤其適用于半導體光刻機的真空系統 —— 該場景要求振動振幅<10μm,軸承的高精度平衡配合阻尼器設計,可將振動控制在 5μm 以內,保障光刻工藝的精度。

新巴頓分子泵軸承采用先進的復合材質體系,主要部件陶瓷球選用氧化鋯(ZrO?)材料,其硬度高達 HRA85,抗彎強度達到 230GPa,相比傳統軸承鋼材質,耐磨性提升了 3 倍以上。不銹鋼套圈采用真空除氣處理的 AISI 440C 不銹鋼,在 10??Pa 的超高真空環境下,水汽釋放率為 5×10??Pa?m3/s,極大降低了出氣對真空系統的影響。某半導體蝕刻設備在采用新巴頓陶瓷軸承后,運行壽命從原本的 8 個月延長至 28 個月,設備因軸承故障導致的停機時間減少了 75%,明顯提升了生產效率,同時因材料出氣率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生產成本。綠色制造工藝,新巴頓分子泵軸承助力機械行業低碳轉型。

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為滿足機械行業的全球化需求,新巴頓建立了分子泵軸承的國際物流網絡。通過 DHL、FedEx 等國際快遞,常規型號可在 3-5 個工作日送達亞太地區,5-7 個工作日送達歐美;大宗貨物采用空運(上海浦東機場至法蘭克福、洛杉磯等樞紐),清關時間≤24 小時。針對海外機械客戶的特殊需求,提供本地化倉儲服務(如在越南、墨西哥設立保稅倉),庫存周轉率達 8 次 / 年,縮短交貨周期至 7-10 天。國際物流方案的優化使新巴頓分子泵軸承能夠快速響應全球機械市場的需求,支持國內機械企業的海外項目拓展。巴頓分子泵軸承:智能化監測,預防故障。楊浦區104FFT5G33分子泵軸承

不對稱倒角滾道,新巴頓分子泵軸承降低機械運轉噪音,環境友好。奉賢區C36STAY52分子泵軸承

分子泵軸承在 10??Pa 以上的超高真空環境中運行時,材料的出氣率成為關鍵指標。新巴頓采用真空除氣工藝對軸承組件進行預處理,通過在 120℃真空爐中烘烤 24 小時,使不銹鋼套圈的水汽釋放率降至 5×10??Pa?m3/s 以下。針對真空鍍膜設備中鋁蒸汽冷凝導致的軸承卡死問題,公司開發的迷宮式密封結構,通過多道曲徑密封槽與擋油環配合,將蒸汽侵入量減少 90%。某光學鍍膜企業使用該方案后,軸承更換周期從 1 個月延長至 8 個月,大幅降低了因停機導致的產能損失。奉賢區C36STAY52分子泵軸承

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