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常州C102HY17分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-29

在面臨極端工況的機(jī)械領(lǐng)域,新巴頓分子泵軸承展現(xiàn)出優(yōu)越的環(huán)境適應(yīng)能力。針對(duì)高真空(10??Pa 以下)場(chǎng)景,采用全金屬密封結(jié)構(gòu)與無(wú)油潤(rùn)滑設(shè)計(jì),出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于空間探測(cè)設(shè)備的真空系統(tǒng);在超高壓環(huán)境(如深海探測(cè)機(jī)械)中,軸承外圈采用厚壁強(qiáng)化設(shè)計(jì),耐壓強(qiáng)度達(dá) 100MPa,配合防泄漏波紋管密封,防止海水侵入。某科研機(jī)構(gòu)的核聚變實(shí)驗(yàn)裝置中,分子泵軸承在強(qiáng)磁場(chǎng)(10T)與輻射環(huán)境下連續(xù)運(yùn)行 1000 小時(shí),性能衰減率<5%,證明其在極端機(jī)械工況下的可靠性。通過(guò)材料改性與結(jié)構(gòu)創(chuàng)新,新巴頓分子泵軸承持續(xù)突破機(jī)械應(yīng)用的邊界條件。巴頓分子泵軸承:穩(wěn)定性能,助力科研突破。常州C102HY17分子泵軸承

分子泵軸承

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機(jī)配備 4 臺(tái) 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個(gè)月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長(zhǎng)至 24 個(gè)月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計(jì)劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬(wàn)元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過(guò)在保持架中嵌入石墨自潤(rùn)滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問(wèn)題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時(shí)間突破 10000 小時(shí)。普陀區(qū)C1907X205Y15分子泵軸承巴頓分子泵軸承:優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提高產(chǎn)品承載能力。

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針對(duì)機(jī)械運(yùn)行中的溫度變化,新巴頓分子泵軸承設(shè)計(jì)了熱膨脹補(bǔ)償機(jī)制。通過(guò)材料線膨脹系數(shù)匹配(軸承鋼 11.5×10??/℃,外殼材料鑄鐵 10.6×10??/℃),將熱變形差值控制在 5μm/100℃以內(nèi);軸向預(yù)留補(bǔ)償間隙(0.1-0.3mm),配合波形彈簧自動(dòng)調(diào)整預(yù)緊力,補(bǔ)償熱膨脹導(dǎo)致的尺寸變化。在 CT 機(jī)的球管真空系統(tǒng)中,這種設(shè)計(jì)使軸承在球管發(fā)熱(溫度從 25℃升至 60℃)時(shí),仍能保持轉(zhuǎn)子軸向跳動(dòng)≤15μm,確保影像重建的精度。熱膨脹補(bǔ)償機(jī)制使分子泵軸承在機(jī)械溫度波動(dòng)工況下,維持長(zhǎng)期的精度穩(wěn)定性,減少因熱變形導(dǎo)致的性能衰減。

軸承保持架的輕量化與強(qiáng)度平衡:分子泵軸承的保持架需在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)兼具輕量化與抗離心力性能。新巴頓采用碳纖維增強(qiáng) PEEK 材料(密度 1.3g/cm3)制造保持架,其抗拉強(qiáng)度達(dá) 130MPa,較傳統(tǒng)黃銅保持架減重 60%,同時(shí)離心力引起的形變≤0.05mm。保持架窗口采用橢圓孔設(shè)計(jì)(長(zhǎng)軸 2.5mm,短軸 2mm),優(yōu)化滾珠引導(dǎo)軌跡,降低高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)噪聲(≤65dB)。某半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用分子泵更換該保持架后,軸承運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲從 78dB 降至 62dB,符合 ISO 11683 工業(yè)噪聲控制標(biāo)準(zhǔn)。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕合金材料,適應(yīng)惡劣環(huán)境。

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新巴頓在分子泵軸承制造過(guò)程中,嚴(yán)格把控每一道工序,以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的加工精度。套圈滾道采用數(shù)控超精磨床加工,圓度誤差控制在 0.3μm 以內(nèi),表面粗糙度 Ra 值達(dá)到 0.08μm,較行業(yè)常規(guī)工藝精度提升了 50% 。陶瓷球生產(chǎn)需經(jīng)過(guò) 12 道精密研磨工序,通過(guò)激光測(cè)振篩選,確保每顆陶瓷球的圓度誤差小于 0.08μm,振動(dòng)幅值不超過(guò) 0.08mm/s 。在無(wú)塵車間(ISO 6 級(jí))進(jìn)行裝配,運(yùn)用真空注脂技術(shù),保證潤(rùn)滑脂均勻度誤差小于 3% 。經(jīng)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x檢測(cè),成品軸承的軸向游隙控制精度達(dá)到 ±1.5μm,為分子泵的穩(wěn)定運(yùn)行奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。巴頓分子泵軸承:穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn),助力科研探索。金山區(qū)巴頓C1903X205Y18分子泵軸承

其智能預(yù)警系統(tǒng),讓新巴頓分子泵軸承提前預(yù)防突發(fā)故障。常州C102HY17分子泵軸承

在保證性能的前提下,新巴頓分子泵軸承通過(guò)工藝優(yōu)化降低機(jī)械行業(yè)用戶的成本。采用冷輾成型工藝加工套圈,材料利用率從切削工藝的 50% 提升至 85%,成本降低 20%左右;大批量生產(chǎn)的深溝球軸承(型號(hào) 6005)價(jià)格控制在常規(guī)品牌的 70%-80%,而壽命相當(dāng)。對(duì)于維修成本敏感的機(jī)械(如中小型真空泵),提供可拆卸式軸承設(shè)計(jì)(如剖分式外圈),更換時(shí)無(wú)需拆卸整個(gè)泵體,維修工時(shí)減少 60%。這種性價(jià)比優(yōu)勢(shì)使軸承在機(jī)械行業(yè)的設(shè)備選型中,綜合成本(采購(gòu)成本 + 維護(hù)成本)較同類產(chǎn)品降低 15%-30%,尤其適合預(yù)算有限的中小企業(yè)。常州C102HY17分子泵軸承

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