超精密加工技術市場是國家高技術集中的市場,它既是高代價、高投入的工藝技術,又是高增值、高回報的工藝技術,世界工業先進國家都把它放在國家技術和經濟振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導航儀器系統中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛星儀器軸承是真空無潤滑軸承,其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm,圓度和圓柱度均為納米級精度,這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級,它是用超精密磨削方法加工的。激光超精密加工具有切割縫細小的特點。激光切割的割縫一般在0.1-0.2mm。日本技術超精密切割
微泰提供半導體精密元件精密制造和供應機械設備(包括半導體生產設備、生物電池、新能源電池、航空航天和羅機器人)所需的所有精密部件和模型。根據客戶的需求,提出改進功能的想法和設計,以及生產、質量控制和檢測系統的高效集成基礎設施、材料和部件。通過與國內外設備制造商的合作,我們能夠以高速度、高質量和有競爭力的優化成本提供客戶滿意的產品。尺寸:MCT5~6.5英寸。CNC6~10英寸,旋銑材料:AL5052,AL6061,AL7075,SUS304,SUS316,SUS630,Copper,Tungsten,Titanium,Monel,POM,PEEK。半導體精密元件特性:保持嚴格的公差,因此零件的制造非常精確,并需要高加工能力,以便與指定公差的偏差小。在整個加工過程中進行嚴格的質量控制,識別和糾正零件的規格和偏差,從而制造出高質量的精密零件。高精度超精密鏡頭夾持器從加工周期來看,激光超精密加工操作簡單,切縫寬度方便調控,可立即進行高速雕刻和切割、加工速度快。
超精密加工技術的發展趨勢向更高精度方向發展:由現在的亞微米級向納米級進軍,以期達到移動原子的目的,實現原子級加工。向大型化方向發展:研制各類大型的超精密加工設備,以滿足航空、航天、通信和安全的需要。向微型化方向發展:以適應飛速發展的微機械、集成電路的需要。向超精結構、多功能、光、加工檢測一體化等方向發展:多采用先進的檢測監控技術實時誤差補償。新工藝和復合加工技術不斷涌現:使加工的材料的范圍不斷擴大1。
(2)超精密異形零件加工。例如航空高速多辨防滑軸承的內滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體,都是用超精密數控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺是形狀復雜的高精度零件,是用超精密數控銑床加工的。(3)超精密光學零件加工。例如激光陀螺的反射鏡的平面度達0.05μm,表面粉糙度Rα達0.001μm、它是由超精密拋研加工、再進行鍍膜而成,要求反射率達99.99%。—些高精度瞄準系統要求小型化,所以用少量非球面鏡來代替復雜的光學系統。這些非球鏡是用超精密車、磨、研、拋加工而成的。近期,二元光學器件的理論研究進展很大,二元光學器件的制造設備是專門的超精密加工設備。在民用方面,隱形眼鏡就是用超精密數控車床加工而成的。計算機的硬盤、光盤、復印機等高技術產品的很多精密零件都是用超精密加工手段制成的。超精密激光切割技術已經被應用于精密電子、裝飾、模具、手機數碼、鈑金和五金等行業。
精密、超精密加工技術是提高機電產品性能、質量、工作壽命和可靠性,以及節材節能的重要途徑。如:提高汽缸和活塞的加工精度,就可提高汽車發動機的效率和馬力,減少油耗;提高滾動軸承的滾動體和滾道的加工精度,就可提高軸承的轉速,減少振動和噪聲;提高磁盤加工的平面度,從而減少它與磁頭間的間隙,就可提高磁盤的存儲量;提高半導體器件的刻線精度(減少線寬,增加密度)就可提高微電子芯片的集成度。工業發達國家的一般工廠已能穩定掌握3 μm的加工精度(我國為5 μm)。同此,通常稱低于此值的加工為普通精度加工,而高于此值的加工則稱之為高精度加工。通常,按加工精度劃分,機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。微米級超精密微孔
超精密激光加工屬于非接觸加工,不會對材料造成機械擠壓或應力。熱影響區和變形很小,能加工微小的零部件。日本技術超精密切割
技術特點高精度:超精密加工能夠實現亞微米級別的加工精度,這使得它非常適合用于制造需要極高精度的零部件。高質量表面:通過控制加工過程中的各種參數,超精密加工可以產生非常光滑的表面,減少表面粗糙度。材料適用性廣:超精密加工技術可以應用于各種材料,包括金屬、陶瓷和聚合物等。應用領域光學元件制造:如激光核聚變光學元件的制造,需要極高的表面質量和精度。微電子器件:如半導體芯片的制造,需要極高的加工精度和表面質量。航空航天:用于制造高性能的航空零部件,如渦輪葉片等。日本技術超精密切割