中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證,包括 CE、FCC、UL 等,符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規范與電磁兼容性要求,可直接出口至歐美、日韓等地區,為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面,中清航科創新采用激光對刀技術。通過高精度激光束掃描刀具輪廓,自動測量刀具直徑、刃口角度等參數,并與標準值對比,自動計算補償值,整個校準過程只需 3 分鐘,較傳統機械對刀方式提升效率 80%,且校準精度更高。晶圓切割MES系統中清航科定制,實時追蹤每片切割工藝參數。上海12英寸半導體晶圓切割劃片廠
中清航科開放6條全自動切割產線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區,剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數組合。客戶輸入晶圓類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數包,工藝開發周期縮短90%。
8 英寸晶圓在功率半導體、MEMS 等領域仍占據重要市場份額,中清航科針對這類成熟制程開發的切割設備,兼顧效率與性價比。設備采用雙主軸并行切割設計,每小時可加工 40 片 8 英寸晶圓,且通過優化機械結構降低振動噪聲至 65 分貝以下,為車間創造更友好的工作環境,深受中小半導體企業的青睞。晶圓切割工藝的數字化轉型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設備內置工業物聯網模塊,可實時采集切割壓力、溫度、速度等 100 余項工藝參數,通過邊緣計算節點進行實時分析,生成工藝優化建議。客戶可通過云端平臺查看生產報表與趨勢分析,實現基于數據的精細化管理。
磷化銦(InP)光子晶圓易產生邊緣散射損耗。中清航科采用等離子體刻蝕輔助裂片技術,切割面垂直度達89.5°±0.2°,側壁粗糙度Ra<20nm,插入損耗降低至0.15dB/cm。中清航科SkyEye系統通過5G實時回傳設備運行數據(振動/電流/溫度),AI引擎15分鐘內定位故障根因。遠程AR指導維修,MTTR(平均修復時間)縮短至45分鐘,服務覆蓋全球36國。基于微區X射線衍射技術,中清航科繪制切割道殘余應力三維分布圖(分辨率10μm),提供量化改進方案。客戶芯片熱循環壽命提升至5000次(+300%),滿足車規級AEC-Q104認證。晶圓切割應急服務中清航科24小時響應,備件儲備超2000種。
在半導體設備國產化替代的浪潮中,中清航科始終堅持自主創新,中心技術 100% 自主可控。其晶圓切割設備的關鍵部件如激光發生器、精密導軌、控制系統等均實現國產化量產,不僅擺脫對進口部件的依賴,還將設備交付周期縮短至 8 周以內,較進口設備縮短 50%,為客戶搶占市場先機提供有力支持。展望未來,隨著 3nm 及更先進制程的突破,晶圓切割將面臨更小尺寸、更高精度的挑戰。中清航科已啟動下一代原子級精度切割技術的研發,計劃通過量子點標記與納米操控技術,實現 10nm 以下的切割精度,同時布局晶圓 - 封裝一體化工藝,為半導體產業的持續發展提供前瞻性的技術解決方案,與全球客戶共同邁向更微觀的制造領域。中清航科切割耗材全球供應鏈,保障客戶生產連續性。臺州晶圓切割劃片廠
中清航科推出晶圓切割應力補償算法,翹曲晶圓良率提升至98.5%。上海12英寸半導體晶圓切割劃片廠
為滿足汽車電子追溯要求,中清航科在切割機集成區塊鏈模塊。每片晶圓生成單獨工藝參數數字指紋(含切割速度、溫度、振動數據),直通客戶MES系統,實現零缺陷溯源。面向下一代功率器件,中清航科開發等離子體輔助切割(PAC)。利用微波激發氧等離子體軟化切割區材料,同步機械分離,切割效率較傳統方案提升5倍,成本降低60%。邊緣失效區(Edge Exclusion Zone)浪費高達3%晶圓面積。中清航科高精度邊緣定位系統通過AI識別有效電路邊界,定制化切除輪廓,使8英寸晶圓可用面積增加2.1%,年省材料成本數百萬。
中清航科(江蘇)科技有限公司在同行業領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創新的市場高度,多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準,在江蘇省等地區的數碼、電腦中始終保持良好的商業口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環境,富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新,勇于進取的無限潛力,中清航科科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!