然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,計算蝕刻前后6個取點的厚度差值,對比6個點之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結(jié)合具體實施例,進一步闡述本發(fā)明,對本發(fā)明做進一步詳細的說明,但不限于這些實施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后,進行接觸角的測量;蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。蘇州博洋專業(yè)生產(chǎn),BOE蝕刻液生產(chǎn)。福建專業(yè)BOE蝕刻液商家
segúáuncertificadodefabricaciónconcadadepósitoenelquesejustifiqueelcumplimientodelosensayosdefinidosenlanormadefabricacióncorrespondiente,según,óón(brida,valonaybridaloca,rosca,etc.)atubosdellenado,ventilación,aspiración,etcéán:1.o.oSobrelageneratrizsuperiordelosdepóósitoestaráprovistodelassiguientestubuladuras:a))Unaovariastubuladurasdeventilació)Unaovariastubuladurasdeaspiració))ááobturadaherméóónempleado(anillasuorejetas,zunchos)deberásoportarunafuerzade,almenos,dosveceselpesodeldepósitoenvacíósitoposeevariosdispositivosdeelevación,elesfuerzodeberáándise?adosdetalmaneraquenotransmitanesfuerzosanómalosalasvirolasdelaenvolventecilíósitosdecapacidadsuperioratresmetroscúbicostendránboca/áundiámetromínimode500milíácomomínimounadimensiónde450milímetrosy550milímetroscorrespondientesasusejesdesimetríúnpuntodeldepósitoamásdecincometrosdeunabocadehombre:portanto,seprevéndosparalosdepósitosdemásde10metrosdelongitud。湖南電子級BOE蝕刻液電話BOE蝕刻液的配方是什么樣的?
本實用新型屬于廢液處理領(lǐng)域,尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)。背景技術(shù):酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液,隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展,產(chǎn)生的廢液量越來越大,發(fā)掘的污染物種類也越來越多,對環(huán)境造成巨大的危害,此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生,我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環(huán)利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學(xué)或電化學(xué)的方法,但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大,比重增加,必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數(shù),這樣污染大,影響環(huán)境,而且還會造成銅和酸的浪費。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型所要解決的技術(shù)問題為如何通過簡單、低成本的技術(shù)實現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術(shù)問題,本實用新型是這樣實現(xiàn)的,一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),包括:電解槽,具有一出液口和出氣口,且內(nèi)置有酸性蝕刻液,用于對所述酸性蝕刻液進行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液;再生液調(diào)配缸,具有進液口和循環(huán)出液口,所述進液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液;射流器,其進氣口通過導(dǎo)氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。
該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實施例2本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實施例3本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實施例4本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實施例5本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。蘇州口碑好的BOE蝕刻液公司。
形成氣液混合體,從擴散管22排出又進入到再生液調(diào)配缸3。電解再生某線路板生產(chǎn)線蝕刻廢液,蝕刻廢液量1000m3/d,相比沒有使用本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),能耗節(jié)約40%,節(jié)約使用藥品100kg/d,經(jīng)濟效益提高30%。作為本實施例的一個示例,電解槽1的陽極可選用石墨電極,陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極,電解槽1中陰極與陽極之間的距離為55mm,電解槽1的電流密度為300a/m2。與實施例相結(jié)合,圖2示出了本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),在實施例的基礎(chǔ)上,第二實施例進一步包括曝氣裝置5,曝氣裝置5通過管道深入到再生液調(diào)配缸3的液體中,用于向再生液調(diào)配缸3中的電解后液輸送氣體以進行攪拌,以提高整個系統(tǒng)的工作效率。進一步地,與上述、第二實施例相結(jié)合,酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還可以包括一后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過再生液調(diào)配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻,然后再打入到子液桶,實現(xiàn)再生液循環(huán)利用。以上所述為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。請認(rèn)準(zhǔn)蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。江蘇電子級BOE蝕刻液銷售價格
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可通過蒸發(fā)或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點或的蒸氣壓來實施共沸型化合物的確定。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的,以使組合物再生,例如當(dāng)其飽和有污染物的時候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物,而沒有各組分的任何分餾。而且,2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點。因此,半纖維素多糖是含有5個碳原子的基于糖的聚合物。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時,得到戊糖(含有5個碳原子的糖),例如木糖。當(dāng)進行木糖的熱脫水時,該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外,根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn),閉杯閃點高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑。它們也可用作發(fā)泡劑。實驗部分實施例1通過使用沸點測定技術(shù)測量液體混合物的沸點。首先,將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點測定儀中,然后,使其沸騰。在達到平衡狀態(tài)之后,記錄在大氣壓下的沸點。然后,將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點測定儀中并且在已達到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。福建專業(yè)BOE蝕刻液商家