1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象,鍍層均勻性達±5%以內。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設備內建HEPA過濾系統,滿足Class 1000以下潔凈環境。
4.高效生產:支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結構表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 無氰鍍鋅設備使用鋅酸鹽絡合劑替代。海南超硬鍍層電鍍設備
電鍍生產線其組成部分圍繞 “前處理→電鍍處理→后處理→輔助控制” 具體如下:
一、工藝處理系統
1. 前處理設備
除油裝置:
化學除油槽:使用堿性溶液或表面活性劑,去除工件表面油污。
電解除油槽:通過電化學作用強化除油效果,分陽極除油(適用于鋼鐵件)和陰極除油(適用于鋁、銅等易腐蝕金屬)。
酸洗 / 活化設備:
酸洗槽-活化槽-水洗槽
2.電鍍處理設備
鍍槽主體:
按電鍍方式分類:
掛鍍槽:用于中大件或精密件
滾鍍機:用于小尺寸、大批量工件(如螺絲、電子元件)
連續鍍設備:針對帶狀 / 線狀工件(如鋼帶、銅線)
槽體材料:根據電解液性質選擇
3. 后處理設備
清洗系統:多級水洗(冷水洗、熱水洗),去除鍍層表面殘留電解液,防止腐蝕。
鈍化 / 封閉裝置:
鈍化槽:通過鉻酸鹽、無鉻鈍化劑等形成保護膜(如鍍鋅后的藍白鈍化、五彩鈍化),提高耐腐蝕性。
封閉槽:用于多孔鍍層(如陽極氧化膜),通過熱水封閉或有機涂層封閉,增強膜層致密性。
干燥設備:
熱風干燥箱:適用于小件批量干燥,溫度可控(50~150℃)。
離心干燥機:滾鍍后工件甩干(滾筒直接接入,快速去除表面水分)。
特殊處理:如鍍后拋光(機械或電解拋光)、涂油(防銹)等。 海南超硬鍍層電鍍設備過濾循環設備通過精密濾芯凈化電解液,去除金屬顆粒等雜質,保障鍍液清潔與工藝穩定。
是專為電感類電子元件(如線圈、磁芯、電感器等)設計的電鍍加工設備,其特點是采用雙滾筒結構,結合滾鍍工藝,以實現小型電感元件的高效、均勻鍍層處理。
雙滾筒設計:兩個滾筒可同時或交替運行,一桶裝卸時另一桶持續工作,減少停機時間,提升產能。
滾筒優化:采用絕緣耐腐蝕材質(如PP),開孔設計促進鍍液流通,防纏繞結構適配電感元件的細小特性。
滾鍍工藝:元件在滾筒內翻滾,通過電流作用均勻沉積鍍層(如鎳、錫、銀),雙桶可調控轉速、電流等參數。
高效連續生產:雙桶交替作業支持大規模電鍍,尤其適合貼片電感(SMD)、磁環等小件批量處理。
鍍層均勻穩定:滾筒旋轉避免元件堆積死角,結合陰極導電設計,確保復雜形狀表面鍍覆一致性。
低損傷高適配:柔和翻滾減少碰撞損耗,可適配防腐、可焊、導電等多種鍍層工藝需求。
典型場景:貼片電感、繞線電感、磁芯等鍍鎳(抗氧化)、鍍錫(焊接)或鍍銀(高導)處理。
關鍵注意:需匹配元件尺寸選擇滾筒孔徑,定期維護鍍液成分及導電觸點,避免漏料或鍍層缺陷。
1.鍍銅液方面
酸性鍍銅液導電性強、分散性佳,能快速鍍厚銅,常用于電子元件底層鍍銅;
堿性鍍銅液穩定性好,腐蝕性小,所得銅層結晶細、結合力強,適用于鋼鐵基體打底。
2.鍍鎳液
瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護,鍍層光亮耐磨,在防護裝飾性電鍍中廣泛應用;
氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優,鍍層內應力低、延展性好,多用于對鍍層質量要求高的電子、航天領域。
3.鍍鋅液里
堿性鍍鋅液陰極極化作用強,鋅層耐腐蝕性好;
酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快,外觀光亮,不過腐蝕性強。
4.鍍金液
有物鍍金液,鍍層均勻光亮、硬度高;
無氰鍍金液則更環保。
5.鍍銀液
物鍍銀液電鍍性能好,鍍層導電導熱優;
硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環保。選擇鍍液要綜合零件材質、形狀、使用環境及實驗目的等,兼顧成本與環保。
在選擇鍍液時,需要根據待鍍零件的材質、形狀、尺寸、使用環境以及實驗目的等因素進行綜合考慮,同時還需考慮鍍液的成本、環保性和操作難度等因素。 環保型電鍍設備的廢氣收集系統采用蜂窩狀活性炭吸附塔,深度處理酸霧廢氣,確保排放達標。
電鍍滾鍍機與電鍍生產線的關系
從屬關系:滾鍍機是電鍍生產線的執行設備之一
1.電鍍生產線的系統構成
電鍍生產線是涵蓋前處理(除油、酸洗)→電鍍處理(鍍槽設備)→后處理(清洗、鈍化、干燥)→自動化控制的完整流程系統,目標是通過電化學原理在工件表面沉積金屬鍍層(如鍍鋅、鎳、銅、鉻等)。
關鍵設備包括:鍍槽(如滾鍍機、掛鍍槽、連續鍍設備)、電源、過濾循環系統、加熱/冷卻裝置、傳輸裝置(如行車、鏈條)等。
2.滾鍍機的定位
滾鍍機是電鍍處理環節中用于批量小件電鍍的鍍槽設備,屬于電鍍生產線的“執行單元”,主要解決小尺寸、大批量工件(如螺絲、電子元件、五金件)的高效電鍍問題。與掛鍍機(適用于大件或精密件,單個懸掛電鍍)、籃鍍(半手工操作,適用于中等尺寸工件)共同構成電鍍生產線的不同鍍槽類型。 自動化電鍍線的機器人上下料系統,通過視覺識別定位工件,實現高精度無人化操作。海南超硬鍍層電鍍設備
連續鍍設備針對鋼帶、銅線等帶狀材料,通過自動化傳輸實現高速電鍍,常見于電子線路板鍍錫。海南超硬鍍層電鍍設備
電泳生產線的特點
1.高效均勻
涂層厚度可控(通常 5~30μm),且無論工件形狀多復雜(如內腔、焊縫),均可通過電場均勻覆蓋,尤其適合結構復雜的工件(如汽車車身)。
2.環保節能
電泳漆以水為溶劑,VOC(揮發性有機物)排放低,符合環保要求;電能和涂料利用率高,浪費少。
3.高防腐性
陰極電泳涂層具有優異的耐腐蝕性,是汽車車身防腐的工藝(如汽車底漆耐鹽霧測試可達 1000 小時以上)。
4.自動化程度高
從工件上線到涂層固化全流程自動化,減少人工干預,提高生產效率和一致性。
5.適用范圍廣
適合批量生產,工件材質包括金屬(鋼鐵、鋁、鋅合金等)、塑料(需導電處理)等。 海南超硬鍍層電鍍設備