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臥式爐在處理半導體材料時，如何避免交叉污染？

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-04-19

每次處理不同材料或工藝前，對爐腔、石英舟等進行徹底清潔，使用專門清潔劑和無塵擦拭工具去除殘留雜質。采用分區供氣和單獨排氣系統，不同工藝使用的反應氣體管道相互單獨，防止氣體交叉混合。在材料裝載區域設置潔凈隔離空間，避免外界污染物接觸待處理材料，從多個環節杜絕交叉污染。

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司
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簡介：賽瑞達成立于2021年，專注于半導體設備的研發、生產與銷售。公司位于無錫，致力于提供定制化解決方案。
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聯系人： 盧華俊

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