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深圳市立成真空泵科技有限公司2025-07-19
返流率指泵工作時，與抽氣方向相反、通過入口的單位面積、單位時間內泵液 (如油) 質量流率。高返流率會污染被抽系統，像在對潔凈度要求高的半導體制造中，返流的泵油會影響芯片質量。
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