如何為干涉儀打造穩定運行的精密微環境？

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南京拓展科技有限公司2025-07-17

極測（南京）技術有限公司研發的精密微環境控制設備，為干涉儀等高敏設備提供關鍵精密溫控能力（蕞高精度至±0.002℃）與蕞高潔凈度十級以上保障。該系統通過非標定制化干涉儀精密微環境方案，解決溫濕度波動、抗微振等嚴苛需求，已服務全球光電前列企業及國家重點實驗室。干涉儀對精密微環境的嚴苛需求：干涉儀的納米級測量精度極易受環境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數，精度可達納米級別。溫度波動引致光學元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動則加速設備損耗，干涉儀精密微環境的穩定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環境穩定關鍵極測精密溫控技術可實現內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學元件與機械結構不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態，為米青準測量提供穩定基礎。百級潔凈+濕度協同打造干涉儀長效微環境系統通過極測精密微環境控制系統，實現濕度控制與百級以上潔凈，同步解決光學件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構建多參數協同精密微環境。智能精密溫控：干涉儀微環境運維閉環實時監控干涉儀微環境溫濕度等數據，自動生成運行趨勢曲線，支持故障追溯與質量分析。智能防護模塊保障精密溫控設備24小時連續運行，避免測量中斷。