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水浸超聲掃描如何確定探頭規格?

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-06-12

確定水浸超聲掃描探頭規格需結合工件材質與厚度,如檢測較厚半導體晶圓需選用低頻、長焦距探頭(如2MHz、25mm晶片直徑),以增強穿透力并聚焦至目標深度,同時需匹配材料聲速(如5900m/s)優化檢測效果。

杭州芯紀源半導體設備有限公司
杭州芯紀源半導體設備有限公司
簡介:杭州芯紀源成立于 2024 年,融合聲、光及 AI 算法,專注半導體檢測設備研發制造,提供超聲檢測。
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水浸式超聲掃描儀2
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其余 2 條回答

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-06-15

    探頭規格需根據缺陷類型與檢測精度選擇,例如檢測微小裂紋需高頻聚焦探頭(如25MHz、Φ13晶片),利用其高指向性和窄波束提升分辨率;而檢測大面積均勻材料則可選寬帶探頭,兼顧靈敏度與信噪比。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-06-15

    水浸超聲探頭規格需綜合工件幾何尺寸與檢測效率,如掃描大面積平面工件時,宜選用大晶片尺寸(如Φ20mm)和快速掃描速度(如120mm/s)的探頭,同時調整水聲距(如380-400mm)確保聲場均勻覆蓋檢測區域。

  • 杭州芯紀源半導體
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