廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-02

支持 SEMI E4、E5、E37 等通信協(xié)議，可與半導體工廠的智能制造系統(tǒng)（SMES）無縫對接，實現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)實時追溯和設備狀態(tài)遠程監(jiān)控。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐已通過 SEMI S2/S8 安全認證，滿足半導體行業(yè)嚴苛要求。

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