QuantumX新型超高速無掩模光刻技術的重要部分是Nanoscribe獨有的雙光子灰度光刻技術(2GL®)。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結合,使其同時具備高速打印,完全設計自由度和超高精度的特點。從而滿足了高級復雜增材制造對于優異形狀精度和光滑表面的極高要求。這種具有創新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業的設計迭代,打印樣品結構既可以用作技術驗證原型,也可以用作工業生產上的加工模具。而且Nanoscribe的QuantumX打印系統非常適合DOE的制作。如需詳細了解雙光子聚合(2PP)和雙光子灰度光刻(2GL ?)的內容請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維。德國雙光子灰度光刻無掩光刻
Nanoscribe成立于2007年,憑借著爾斯魯厄理工學院(KIT)的技術背景和卡爾蔡司公司(CarlZeissAG)的支持,經過十幾年的不斷研究和成長成為了現在世界公認的微納米加工技術和3D打印市場的帶領者,并于2017年在上海成立分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。公司主要產品有基于雙光子聚合技術(Two-PhotonPolymerization)并擁有多項國際專項的雙光子微納3D打印系統PhotonicProfessionalGT2。全球頭一臺工業級雙光子灰度光刻(2GL®)微納打印設備QuantumX受到普遍關注并被眾多高學府和高科技單位所采用,例如哈佛大學,牛津大學等出名的院校,華為公司等。可應用于微納機器人,再生醫學工程,微納光學,力學超材料等不同領域。湖南德國灰度光刻技術由于灰度光刻的高精度特性,它可以有效地解決傳統光刻技術中存在的誤差和缺陷問題。
Nanoscribe成立于2007年,總部位于德國卡爾斯魯厄,擁有卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的技術背景和卡爾蔡司公司的支持。經過十幾年的不斷研究和成長,Nanoscribe已成為微納米生產的先驅和3D打印市場的帶領者,推動著諸如力學超材料,微納機器人,再生醫學工程,微光學等創新領域的研究和發展,并提供優化制程方案。全新的QuantumX無掩模光刻系統能夠數字化制造高精度2維和。作為世界上頭一個雙光子灰度光刻系統,在充分滿足設計自由的同時,一步制造具有光學質量表面以及高形狀精度要求的微光學元件,達到所見即所得。PhotonicProfessionalGT2是全球精度排名頭一位的3D微納打印機。
對準雙光子光刻技術(A2PL®)是Nanoscribe基于雙光子聚合(2PP)的一種新型專利納米微納制造技術。該技術可以將打印的結構自動對準到光纖和光子芯片上,例如用于光子封裝中的光學互連。同時高精度檢測系統還可以識別基準點或拓撲基底特征,確保對3D打印進行高度精確的對準。Nanoscribe對準雙光可光刻技術搭配nanoPrintX,一種基于場景圖概念的軟件工具,可用于定義對準3D打印的打印項目。樹狀數據結構提供了所有與打印相關的對象和操作的分層組織,用于定義何時、何地、以及如何進行打印。在nanoPrintX中可以定義單個對準標記以及基板特征,例如芯片邊緣和光纖表面。使用QuantumXalign系統的共焦單元或光纖照明單元,可以識別這些特定的基板標記,并將其與在nanoPrintX中定義的數字模型進行匹配。對準雙光子光刻技術和nanoPrintX軟件是QuantumXalign系統的標配。雙光子灰度光刻敬請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。
作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統,QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學質量表面的高精度微納光學聚合物母版,可適用于批量生產的流水線工業程序,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,從而拓展微納加工工業領域的應用。2GL與這些批量生產流水線工業程序的結合得益于新技術的亞微米分辨率和靈活性的特點,同時縮短創新微納光學器件(如衍射和折射光學器件)的整體制造時間。另外,QuantumX打印系統非常適合DOE的制作。該系統的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學元件所需的橫向和縱向高分辨率要求。基于雙光子灰度光刻技術(2GL®)的QuantumX打印系統可以實現一氣呵成的制作,即一步打印多級衍射光學元件,并以經濟高效的方法將多達4,096層的設計加工成離散的或準連續的拓撲。實現對光刻膠表面深度的精確控制,從而制備出更加復雜和精細的微納結構。工業級灰度光刻無掩光刻
灰度光刻技術作為一種新型的光刻技術,具有突破傳統光刻技術的優勢。德國雙光子灰度光刻無掩光刻
微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,我們常見的微納3D打印技術是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術,利用該技術我們理論上可以獲得任意想要的結構,不光是微透鏡陣列結構(如下圖5所示),該方法的優勢是可以完全按照設計獲得想要的結構,對于雙光子聚合的微結構,我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結構可以直接進行后續的復制工作,并通過納米壓印技術進行復制。灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版(掩膜接觸式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區域完全曝透,而某些區域光刻膠部分曝光,德國雙光子灰度光刻無掩光刻