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北京桌面無掩模光刻機

來源: 發布時間:2025-07-21

無掩模激光光刻技術為研究實驗室提供了一種多功能的納米/微米光刻工具,可用于創建亞微米級特征,并促進電路和器件的快速原型設計。經濟高效的桌面配置使研究人員和行業從業者無需復雜的基礎設施和設備即可使用光刻技術。應用范圍擴展至微機電系統 (MEM)、生物醫學設備和微電子器件的設計和制造,例如以下領域:醫療(包括微流體)、半導體、電子、生物技術和生命科學、先進材料研究。全球無掩模光刻系統市場規模預計在 2022 年達到 3.3606 億美元,預計到 2028 年將增長至 5.0143 億美元,復合年增長率為 6.90%。由于對 5G、AIoT、物聯網以及半導體電路性能和能耗優化的需求不斷增長,預計未來幾十年光刻市場將持續增長。實時觀測系統:120 FPS高清攝像頭搭配20x尼康物鏡,實現加工過程動態監控。北京桌面無掩模光刻機

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無掩模激光光刻:科研效率的revolution性提升!Polos-BESM系列采用無掩模激光直寫技術,用戶可通過軟件直接輸入任意圖案,省去傳統光刻中掩膜制備的高昂成本與時間。其405 nm紫外光源和亞微米分辨率(most小線寬0.8 μm)支持5英寸晶圓的高精度加工,特別適合實驗室快速原型開發。閉環自動對焦系統(1秒完成)和半自動多層對準功能,remarkable提升微流體芯片和MEMS器件的研發效率62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。北京桌面無掩模光刻機全球產業鏈整合:德國精密制造背書,與Lab14集團共推光通信芯片封裝技術。

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微流體芯片制造的core工具!Polos光刻機可加工80 μm直徑的開環諧振器和2 μm叉指電極,適用于傳感器與執行器開發。結合雙光子聚合技術(如Nanoscribe的2PP工藝),用戶可擴展至3D微納結構打印,為微型機器人及光學超材料提供多維度解決方案37。其與Lab14集團的協同合作,進一步推動工業級光學封裝技術創新3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。

在tumor轉移機制研究中,某tumor研究中心利用 Polos 光刻機構建了仿生tumor微環境芯片。通過無掩模激光光刻技術,在 PDMS 基底上制造出三維tumor血管網絡與間質纖維化結構,其中血管直徑可精確控制在 10-50μm。實驗顯示,該芯片模擬的tumor微環境中,tumor細胞遷移速度較傳統二維培養提升 2.3 倍,且化療藥物滲透效率降低 40%,與臨床數據高度吻合。該團隊通過軟件實時調整通道曲率和細胞外基質密度,成功復現了tumor細胞上皮 - 間質轉化(EMT)過程,相關成果發表于《Cancer Research》,并被用于新型抗轉移藥物的篩選平臺開發。軟件高效兼容:BEAM Xplorer支持GDS文件導入,簡化復雜圖案設計流程。

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在科研領域,設備的先進程度往往決定了研究的深度與廣度。德國的 Polos - BESM、Polos - BESM XL、SPS 光刻機 POLOS μ 帶來了革新之光。它們運用無掩模激光光刻技術,摒棄了傳統光刻中昂貴且制作周期長的掩模,極大降低了成本。這些光刻機可輕松輸入任意圖案進行曝光,在微流體、電子學和納 / 微機械系統等領域大顯身手。例如在微流體研究中,能precise制造復雜的微通道網絡,助力藥物傳輸、細胞培養等研究。在電子學方面,可實現高精度的電路圖案曝光,為芯片研發提供有力支持。其占用空間小,對于空間有限的研究實驗室來說堪稱完美。憑借出色特性,它們已助力眾多科研團隊取得成果,成為科研創新的得力助手 。無掩模激光直寫技術:無需物理掩膜,軟件直接輸入任意圖案,降低成本與時間。浙江桌面無掩模光刻機

生物界面創新:微納結構可控加工,為組織工程提供新型仿生材料解決方案。北京桌面無掩模光刻機

在構建肝臟芯片的血管化網絡時,某生物工程團隊使用 Polos 光刻機實現了跨尺度結構制備。其無掩模技術在 200μm 的主血管與 5μm 的blood capillary間precise銜接,血管內皮細胞貼壁率達 95%,較傳統光刻提升 30%。通過輸入 CT 掃描的真實肝臟血管數據,芯片成功模擬門靜脈與肝竇的血流梯度,使肝細胞功能維持時間從 7 天延長至 21 天。該技術為藥物肝毒性測試提供了接近體內環境的模型,某制藥公司使用后將候選藥物篩選周期縮短 40%,相關成果登上《Lab on a Chip》封面。北京桌面無掩模光刻機

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