旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大，正處于吸氣過程；而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小，正處于排氣過程；居中的空間B的容積也逐漸減小，正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，***與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。真空計按刻度方法如何分類？溫州陶瓷真空計設備供應商

利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規。a）波爾登規利用彈性元件（如波紋管）在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時，波紋管會產生變形，這種變形可以通過機械傳動機構轉化為指針的偏轉，從而指示出真空度的大小。b）電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關系來測量真空度。當氣壓發生變化時，薄膜會相應地產生形變，這種形變會導致電容的改變，進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數值。薄膜電容規具有結構簡單、響應迅速、測量范圍廣等特點。上海mems電容真空計原廠家真空計校準后為什么不準了？

真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時，這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，例如：利用力學性能的真空計：如波爾登真空計和薄膜電容規，它們通過測量氣體對某種力學元件（如薄膜）的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。

真空測量的特點測量壓力范圍寬，105～10-14Pa。2大部分真空計是間接測量，只有壓力為105～10Pa時，可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術，反應迅速，靈敏度高，可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分，否則會造成很大誤差。5測量精度不高。選擇真空計的原則在要求的壓力區域內有要求的精度。2被測氣體是否會損傷真空計；真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。3靈敏度與氣體種類有關否。4可否連續指示、電氣指示以及反應時間長短。5穩定性、復現性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質中，如強酸、鹽堿環境下，要求真空計具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環境下，對真空計中的敏感及電子元器件有較高的要求，不能發生失效、漂移情況的發生。電容真空計的校準通常需要使用已知真空度的標準真空源或真空計進行比對。

真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學量，為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa，直接測量這樣大的壓力是容易的，但在真空技術中，測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術中遇到的氣體壓力都很低，如有時要測10-10Pa的壓力，這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此，測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現象，然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量，再設法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮，使其壓力增高，測出增高后的壓力，再根據壓縮比計算出原來的壓力值，這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲，測量氣體熱傳導造成的某些結果，如熱絲溫度、電阻變化等，這就構成熱傳導真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離，用測得的離子流反應壓力，這就是電離真空計。溫度對皮拉尼真空計測量結果有何影響？杭州陶瓷真空計設備供應商

在皮拉尼真空計中，熱敏電阻被放置在一個密閉的容器中，容器的內部空氣被抽空，使其成為真空。溫州陶瓷真空計設備供應商

電容薄膜真空計：屬彈性元件真空計，其結構和電路原理是一彈性薄膜將規管真空室分為兩個小室，即參考壓強室和測量室。測量低壓強（P<100帕）時，參考室抽至高真空，其壓強近似為零。當測量室壓強不同時，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應改變，通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應壓強值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強，測量值與氣體種類無關、結構牢固、可經受烘烤，如對不同壓強范圍采用不同規頭，可得到較高精度。它可用于高純氣體監測、低真空精密測量和壓強控制，也可用作低真空測量的副標準。溫州陶瓷真空計設備供應商