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來源: 發布時間:2025-07-30

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以p型離子注入形成有源區;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層;所述的正面金屬電極是在濺射后經刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據耗盡區寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長。一種高速高響應度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層;2)高反層開設刻蝕孔;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護環和有源區;5)在保護環和有源區上生成sio2層,然后在sio2層上方生成si3n4層;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區寬度相當;所述的保護環為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳。

6)在sio2層104、si3n4層105上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極106;7)在襯底107的背面做金屬化處理形成背面電極108。進一步的,所述的襯底107采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底107直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層109是由折射率~~,通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成;所述的外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層101的厚度與耗盡區寬度相當;所述的保護環102為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。所述的有源區103為b離子源注入,注入劑量為1e15~2e15;所述的正面金屬電極106是在濺射al之后刻蝕形成。具體的,包括以下操作:1)以在n+摻雜硅材料作為襯底107,在其上通過化學氣相淀積或光學鍍膜生成厚度3~5um的高反層109;其中。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展。硅pin光電二極管哪家棒!世華高。

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