極紫外光刻（英語：Extremeultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長(zhǎng)是下一代光刻技術(shù)，其波長(zhǎng)為13.5納米，預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收，因此，EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料，很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。，降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面?？梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好，在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比。可以加工高反射鏡面的微晶鋁合金。應(yīng)用微晶鋁合金量大從優(yōu)

RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。在光學(xué)模具中也有很好的應(yīng)用，專門批號(hào)的鋁合金具有硬度高，高平整度，高模次率的優(yōu)點(diǎn)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面?？梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好，在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比。RSP鋁合金熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性高，可以應(yīng)用在高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件上。結(jié)合率高微晶鋁合金批發(fā)價(jià)RSP鋁合金熱膨脹系數(shù)低。

RSP鋁合金可以應(yīng)用在空間觀測(cè)設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下，鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。，降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響，可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長(zhǎng)期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車，磨，銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu)，充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。其良好的抗疲勞性，對(duì)整體系統(tǒng)的壽命提高起到良好的作用。顯示了高性價(jià)比

微晶鋁合金的強(qiáng)度主要來自于其細(xì)小的晶粒尺寸和均勻的微晶結(jié)構(gòu)。晶粒尺寸越小，材料的強(qiáng)度越高。微晶鋁合金的晶粒尺寸通常在100納米到1微米之間，比傳統(tǒng)的鋁合金材料小了一個(gè)數(shù)量級(jí)。此外，微晶鋁合金還具有良好的塑性和韌性，能夠在受到外力作用時(shí)發(fā)生塑性變形而不斷裂。三、微晶鋁合金的耐腐蝕性能微晶鋁合金具有良好的耐腐蝕性能，能夠在惡劣的環(huán)境中長(zhǎng)期使用而不受到腐蝕的影響。這主要是由于微晶鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)能夠有效地防止腐蝕介質(zhì)的侵蝕。此外，微晶鋁合金還可以通過表面處理等方法來提高其耐腐蝕性能。四、微晶鋁合金的應(yīng)用微晶鋁合金無需表面鍍層。

普通鋁合金冷卻速度慢帶來材料內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶，熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整，熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法，使的兩種不同金屬形成均質(zhì)的合金，使晶粒越細(xì)。這樣使得鋁合金表面平整度高，獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金，很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。高耐磨性能和精加工性能。同時(shí)材料的抗疲勞性能也得到提高。應(yīng)用領(lǐng)域：航天工業(yè)，如航空航天緊固件，結(jié)構(gòu)件。高導(dǎo)熱材料。電子封裝，如散熱器，載具，微波射頻應(yīng)用。光電設(shè)備，如激光器夾具，反射鏡。設(shè)備制造，如活塞氣缸，屏蔽設(shè)備，精密設(shè)備夾具，載具。微晶鋁合金機(jī)械穩(wěn)定性高。結(jié)合率高微晶鋁合金批發(fā)價(jià)

可以做半導(dǎo)體設(shè)備的微晶鋁合金。應(yīng)用微晶鋁合金量大從優(yōu)

普通鋁合金冷卻速度慢帶來材料內(nèi)部產(chǎn)生粗大的枝晶，熱應(yīng)力失衡。造成表面不平整，熱膨脹系數(shù)大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法，使的兩種不同金屬形成均質(zhì)的合金，使晶粒大小分布均勻。這樣使得鋁合金表面平整度高，獲得更高的強(qiáng)度和韌性。因?yàn)槭枪桎X合金，還很好的綜合了兩種金屬的特點(diǎn)。高耐磨性能和精加工性能。同時(shí)材料的抗疲勞性能也得到提高。RSP鋁合金應(yīng)用在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，可以做出復(fù)雜結(jié)構(gòu)，高導(dǎo)熱性，散熱性能好，熱膨脹系數(shù)低，表面可以渡層。RSP鋁合金在航空航天工業(yè)領(lǐng)域中，在結(jié)構(gòu)件制造中，具有整體重量輕，強(qiáng)度高，韌性高，耐磨，熱膨脹系低，抗冷熱沖擊。表面易處理，可以得到高平整度表面。應(yīng)用微晶鋁合金量大從優(yōu)