光源：提供相干光，通常是激光，因為激光具有高度的相干性，能夠產生穩定的干涉條紋。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡：調節光程差，確保兩束光在干涉屏（或檢測器）上相遇時具有合適的相位差。干涉屏（或檢測器）：顯示干涉結果，或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類，常見的分類方法包括：按結構區分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中，干涉的波通過同一路徑傳播，如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中，干涉的波通過不同的路徑傳播，如邁克爾遜干涉儀。即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

常見的干涉儀包括：邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。它通過將光束分成兩部分，分別經過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣。法布里-佩**涉儀：由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發明，主要用于高精度的光譜分析。它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。光纖干涉儀：利用光纖中的光波干涉現象，廣泛應用于傳感器、通信等領域。干涉儀的應用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學特性等。在科學研究和工業檢測中，干涉儀是一種非常重要的工具。姑蘇區本地雙頻激光干涉儀性價比抗干擾能力強：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對環境噪聲和振動的抗干擾能力較強。

環境適應力強：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大，即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內使用，也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。實時動態測速高：現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態測量。三、應用領域幾何量精密測量：用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時，既支持幾十米大量程的檢測（如大型機械），也可對手表零件等微米級運動進行測量。

另一方面，當可動棱鏡移動時，前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號，而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f，結果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。應用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。

分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環境要求較高，周圍大氣需處于穩定狀態，以避免空氣湍流對測量結果的影響。雙頻激光干涉儀：出現于1970年，適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。三、應用雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具，適用于各種科學研究和工業應用。姑蘇區耐用雙頻激光干涉儀量大從優

即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個根本弱點就是受環境影響嚴重，在測試環境惡劣，測量距離較長時，這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來，而如果激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數，使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流，機床油霧，切削屑對光束的影響，結果光束發生偏移或波面扭曲。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

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