邁克爾遜干涉儀，是1881年美國(guó)物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來(lái)的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過(guò)調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長(zhǎng)度和折射率的測(cè)量，若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條，便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。太倉(cāng)銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè)，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等，通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測(cè)線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測(cè)量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測(cè)量精度：0.2%吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。

三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到， 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān)。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)， 這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時(shí)候叫做干涉條紋， 由于相位差變化引起的幅度變化有時(shí)也稱為條紋移動(dòng)。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類， 其差異在于干涉的波是否通過(guò)同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見(jiàn)的多路徑干涉儀， 而Sagnac干涉儀， 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]。

激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：科學(xué)研究：用于檢測(cè)引力波、測(cè)量微小位移和振動(dòng)等。工業(yè)制造：用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中，激光干涉儀能夠測(cè)量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等，以及速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床的動(dòng)態(tài)特性。計(jì)量學(xué)：用于長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信：用于光纖傳感和信號(hào)處理。四、主要特點(diǎn)高精度：激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量精度，非常適合各種高精度測(cè)量應(yīng)用。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。它通過(guò)將激光束分成兩部分，分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣，從而可以精確測(cè)量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個(gè)步驟：激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。光束分割：通過(guò)分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測(cè)量光束。光程傳播：參考光束和測(cè)量光束分別經(jīng)過(guò)不同的路徑，可能會(huì)經(jīng)過(guò)被測(cè)物體或介質(zhì)。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度，適用于微小位移的檢測(cè)。太倉(cāng)銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

測(cè)量精度不受空氣湍流的影響，無(wú)需預(yù)熱時(shí)間。太倉(cāng)銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè) 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1. 線性：0.5ppm .2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg太倉(cāng)銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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