氣泡內氣體或蒸汽的溫度不需要冷卻至室溫或清洗液的溫度。它可以是高于室溫或清洗液溫度的一定溫度。較佳地，該溫度是明顯低于內爆溫度ti。根據公式(8)和(9)，如果已知(δt-δt)，可以計算出內爆時間τi。但通常情況下，(δt-δt)不太容易被計算出或直接得到。然而可以憑經驗直接得到τi的值。圖7e揭示了根據經驗得出內爆時間τi值的流程圖。在步驟7210中，基于表1，選擇五個不同的時間段τ1作為實驗設定(doe)的條件。在步驟7220中，選擇至少是τ1十倍的時間段τ2，在***次測試時**好是100倍的τ1。在步驟7230中，使用確定的功率水平p0運行以上五種條件來分別清洗具有圖案結構的晶圓。此處，p0是在如圖6a所示的連續不間斷模式(非脈沖模式)下確定會對晶圓的圖案結構造成損傷的功率水平。在步驟7240中，使用掃描電鏡(sem)或晶圓圖案損傷查看工具來檢查以上五種晶圓的損壞程度，如應用材料的semvision或日立is3000，然后內爆時間τi可以被確定在某一范圍。損傷特征的百分比可以通過由掃描電鏡檢查出的損傷特征總數除以圖案結構特征的總數。也可以通過其它方法計算得出損傷特征百分比。例如，**終晶圓的成品率可以用來表征損傷特征的百分比。進口半導體晶圓產品的價格。德陽6寸半導體晶圓邊拋光機

    在晶圓15010上形成具有間距w的圖案結構15034。在空化過程中形成的一些氣泡15046位于圖案結構15034的間距內。參考圖15b所示，隨著氣泡氣穴振蕩的繼續，氣泡15048內的氣體和/或蒸汽的溫度升高，這導致氣泡15048的尺寸增大。當氣泡15048的尺寸大于間距w時，如圖15c所示，氣泡氣穴振蕩的膨脹力會損壞圖案結構15034。因此，需要一種新的晶圓清洗工藝。如圖15c所示，由氣泡膨脹引起的損傷點可能小于由氣泡內爆引起的損傷點，如圖4b所示。例如，氣泡膨脹可能會導致100nm量級的損傷點，而氣泡內爆會導致更大的損傷點，1μm量級的損傷點。圖15d揭示了根據本發明的一個實施例的晶圓清洗工藝的流程圖。該晶圓清洗工藝從步驟15210開始，將超聲波或兆聲波裝置置于晶圓的上表面附近。在步驟15220中，將清洗液，可以是化學液或摻了氣體的水噴射到晶圓表面以填滿晶圓和聲波裝置之間的間隙。在步驟15230中，卡盤攜帶晶圓開始旋轉或振動。在步驟15240中，頻率為f1及功率水平為p1的電源被應用于聲波裝置。在步驟15250中，在氣泡的尺寸達到間距w的值之前，設置電源輸出為零，由于清洗液的溫度遠低于氣體的溫度，所以氣泡內氣體和/或蒸汽的溫度開始冷卻。在步驟15260中。廣州半導體晶圓鄭重承諾半導體行業，晶圓制造和晶圓加工。

    進而可取出產品。另外，在一個實施例中，所述動力機構103包括固設在所述動力腔26底壁上的第三電機25，所述第三電機25的頂面動力連接設有電機軸24，所述電機軸24的頂面固設有***轉盤23，所述升降腔18的上下壁之間轉動設有***螺桿17，所述***螺桿17貫穿所述升降塊15，并與所述升降塊15螺紋連接，所述***螺桿17向下延伸部分伸入所述動力腔26內，且其底面固設有第二輪盤21，所述第二輪盤21的底面與所述***轉盤23的頂面鉸接設有第三連桿22，所述第二輪盤21直徑大于所述***轉盤23的直徑，通過所述第三電機25的運轉，可使所述電機軸24帶動所述***轉盤23轉動，進而可使所述第二輪盤21帶動所述***螺桿17間歇性往返轉動，則可使所述升降塊15間歇性升降，繼而可使所述切割片50能夠連續切割所述硅錠48。另外，在一個實施例中，所述傳動機構104包括滑動設在所述移動腔13前后壁上的移動塊53，所述海綿52向所述移動腔13延伸部分伸入所述移動腔13內，并與所述移動塊53固定連接，所述移動腔13的下側連通設有冷卻水腔14，所述冷卻水腔14內存有冷卻水，所述海綿52向下延伸部分伸入所述冷卻水腔14內，所述移動塊53的頂面固設有第四連桿54，所述傳動腔55的底壁上轉動設有第二螺桿57。

    使得該邊框結構區域的該***表面至該第二表面的距離，大于或等于在該***內框結構區域的該***表面至該第二表面的距離。進一步的，為了讓基板區域的電阻值降低，其中在該蝕刻步驟進行一部份后，再將該屏蔽層覆蓋到該第二內框結構區域，使得在該邊框結構區域的該***表面至該第二表面的距離，大于或等于在該第二內框結構區域的該***表面至該第二表面的距離。進一步的，為了盡可能地利用晶圓的面積來制作不同芯片，其中該多個芯片區域包含一第二芯片區域，該***芯片區域與該第二芯片區域的形狀不同。進一步的，為了使用晶圓級芯片制造技術來加速具有上述基板結構的芯片制作，其中該多個芯片區域當中的每一個芯片區域和該***芯片區域的形狀都相同。進一步的，為了節省金屬層的厚度以便節省成本，其中該金屬層具有相對應的一第三表面與一第四表面，該第三表面完全貼合于該第二表面，其中該第四表面具有向該第三表面凹陷的一金屬層凹陷區域，該金屬層凹陷區域在該第二表面的投影區域位于該中心凹陷區域當中。進一步的，為了設計與制作的方便，其中該金屬層凹陷區域與該中心凹陷區域的形狀相應，該金屬層凹陷區域的面積小于該中心凹陷區域的面積。總上所述。什么才可以稱為半導體晶圓？

    在一實施例中，為了保護該金屬層，并且降低物理應力與熱應力的影響，該基板結構更包含：一樹酯層，具有相對應的一第五表面與一第六表面，其中該第五表面的形狀相應于該第四表面。在一實施例中，為了讓基板結構所承載的半導體組件的設計簡化，其中該邊框結構區域依序包含***邊結構區域、第二邊結構區域、第三邊結構區域與第四邊結構區域，該***邊結構區域與該第三邊結構區域的寬度相同。在一特定實施例中，為了讓基板結構所承載的半導體組件的設計更加簡化，其中該***邊結構區域、該第二邊結構區域、該第三邊結構區域與該第四邊結構區域的寬度相同。在一實施例中，為了讓基板結構適應所承載的半導體組件的不同設計，其中該邊框結構區域依序包含***邊結構區域、第二邊結構區域、第三邊結構區域與第四邊結構區域，該***邊結構區域與該第三邊結構區域的寬度不同。在一特定實施例中，為了讓基板結構適應所承載的半導體組件的具有更大的設計彈性，其中該***邊結構區域、該第二邊結構區域、該第三邊結構區域與該第四邊結構區域的寬度均不相同。在一實施例中，為了配合大多數矩形芯片的形狀，其中該中心凹陷區域是矩形。在一實施例中，為了配合大多數方形芯片的形狀。半導體晶圓生產工藝流程。天津半導體晶圓誠信推薦

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    圖3為依據本發明另一實施方式的半導體晶圓干燥設備的剖視圖。具體實施方式以下將以附圖公開本發明的多個實施方式。為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一并說明。然而，應了解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明的部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化附圖起見，一些公知慣用的結構與元件在附圖中將以簡單示意的方式繪示。附圖與說明書中盡可能使用相同的元件符號表示相同或相似的部分。除非另外定義，否則本文使用的所有術語(包含技術以及科學術語)對于所屬領域中的技術人員通常理解的涵義。還應理解到，諸如常用的字典中定義的術語的解讀，應使其在相關領域與本發明中具有一致的涵義，且將不以理想化或過度正式的意義解釋，除非明確如此定義。請參照圖1，其為依據本發明一實施方式的半導體晶圓干燥設備100的剖視圖。半導體晶圓干燥設備100是用以干燥半導體晶圓200，半導體晶圓200為包含半導體材料的圓形薄片，其常用于集成電路的制造。在本實施方式中，如圖1所示，半導體晶圓干燥設備100包含基座110、殼體120以及微波產生器130。基座110被配置成承載半導體晶圓200。殼體120以金屬制成。德陽6寸半導體晶圓邊拋光機

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