閘閥的優(yōu)點（1）流體阻力小因為閘閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的，介質(zhì)流經(jīng)閘閥時不改變其流動方向，所以流體阻力小。（2）啟閉力矩小，開閉較省力因為閘閥啟閉時閘板運動方向與介質(zhì)流動方向相垂直、與截止閥相比，閘閥的啟閉較省力。（3）介質(zhì)流動方向不受限制，不擾流、不降低壓力介質(zhì)可從閘閥兩側任意方向流過、均能達到使用的目的。更適用于介質(zhì)的流動方向可能改變的管路中。（4）結構長度較短因為閘閥的閘板是垂直置于閥體內(nèi)的，而截止閥閥瓣是水平置于閥體內(nèi)的，因而結構長度比截止閥短。（5）密封性能好全開時密封面受沖蝕較小。（6）全開時，密封面受工作介質(zhì)的沖蝕比截止閥小。（7）體形比較簡單，鑄造工藝性較好，適用范圍廣。微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，三重防護閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設備。蝕刻閘閥蝶形控制閥

插板閥，又稱手動刀型閘閥。是閘閥的一種。刀形閘閥是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門，其原理是閘板上開有一個通徑大小的圓口，通過閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動作。此閥門的優(yōu)點在于閥體通徑無凹槽，介質(zhì)不會卡阻堵塞，并且具有全通徑流通特性，其密封結構可以分軟密封、硬密封結構。穿透式刀閘閥是具有精密構造，工藝性好，結構緊湊等特點，密封閥座為活動結構設計，有防磨損和自動補償功能，因而壽命更長。在關閉和開啟過程中閥座跟閘板一直緊貼運動，使得閥門啟閉力穩(wěn)定，并且具有切斷介質(zhì)等特點。擴散閘閥英菲尼亞半導體這些真空閥可以手動、氣動或電子方式驅(qū)動，從而可以根據(jù)具體應用進行多功能控制。

真空閘閥的選擇需要考慮以下幾個關鍵因素：1.應用環(huán)境：確定真空閘閥將用于何種真空環(huán)境，例如實驗室、工業(yè)生產(chǎn)或特殊應用等。2.真空度要求：根據(jù)應用需求選擇合適的真空度范圍，確保閘閥能夠滿足工作環(huán)境的真空度要求。3.材料：選擇閘閥的材料應考慮耐腐蝕性、耐溫性以及與介質(zhì)的兼容性。4.尺寸和接口：根據(jù)系統(tǒng)管道的尺寸和接口類型選擇合適的閘閥尺寸和連接方式。5.流量要求：根據(jù)系統(tǒng)流量需求選擇合適的閘閥，確保其能夠滿足最大流量要求。6.控制方式：選擇手動、氣動或電動等控制方式，以適應不同的操作需求。7.品牌和質(zhì)量：選擇信譽良好、質(zhì)量可靠的制造商，確保閘閥的性能和壽命。8.維護和售后服務：考慮制造商提供的維護支持和售后服務，以確保長期使用中的問題能夠得到及時解決。綜合以上因素，選擇適合您具體需求的真空閘閥。

閘閥又稱插板閥是一種管道控制設備，主要用于截斷或接通介質(zhì)流。其主要應用于以下場合：1.物料輸送系統(tǒng)中的管道切換2.粉塵、顆粒狀物料的輸送管道3.化工行業(yè)的腐蝕性介質(zhì)管道4.礦山、冶金行業(yè)的物料輸送5.水處理系統(tǒng)的介質(zhì)隔離6.燃氣、空氣等氣體的管道控制7.環(huán)保設備的尾氣處理系統(tǒng)8.燃料供應系統(tǒng)的介質(zhì)切換9.紡織、制藥等行業(yè)中的特殊介質(zhì)管道10.建筑工地、船舶等移動設備的管道系統(tǒng)控制。插板閥是一種用于控制流體管道中流量和壓力的閥門，通過插入或拔出閥門上的插板來開啟或關閉管道。它廣泛應用于工業(yè)、建筑、化工等領域。閘閥多應用于石油、天然氣等輸送管線上，在半導體加工工程設備上也多用閘閥。

通常在升降桿上有梯形螺紋，通過閥門頂端的螺母以及閥體上的導槽，將旋轉(zhuǎn)運動變?yōu)橹本€運動，也就是將操作轉(zhuǎn)矩變?yōu)椴僮魍屏Αｉ_啟閥門時，當閘板提升高度等于閥門通徑的1：1倍時，流體的通道完全暢通，但在運行時，此位置是無法監(jiān)視的。實際使用時，是以閥桿的頂點作為標志，即開不動的位置，作為它的全開位置。為考慮溫度變化出現(xiàn)鎖死現(xiàn)象，通常在開到頂點位置上，再倒回1/2－1圈，作為全開閥門的位置。因此，閥門的全開位置，按閘板的位置即行程來確定。有的閘閥，閥桿螺母設在閘板上，手輪轉(zhuǎn)動帶動閥桿轉(zhuǎn)動，而使閘板提升，這種閥門叫做旋轉(zhuǎn)桿閘閥，或叫暗桿閘閥。微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導體CVD設備中的主要閥門。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。CVD閘閥HV GATE VALVE

真空閘閥的密封裝置確保關閉時的高真空完整性，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力。蝕刻閘閥蝶形控制閥

真空閘閥的維護保養(yǎng)為了確保真空閘閥的正常運行和延長使用壽命，需要進行定期的維護保養(yǎng)。以下是一些常見的維護保養(yǎng)措施：1.定期檢查閥門的密封性能，確保閥瓣和閥座之間的密封良好，防止氣體泄漏。2.定期對閥門進行清洗，去除閥門內(nèi)部的雜質(zhì)和污垢，保持閥門的通暢。3.檢查閥門的驅(qū)動裝置，確保其工作正常。對于電動或氣動執(zhí)行機構，應定期檢查電源或氣源供應情況，確保執(zhí)行機構的穩(wěn)定運行。4.對于長期未使用的閥門，應定期進行啟閉操作，以防止閥門因長期靜止而出現(xiàn)故障。5.在使用過程中，應避免對閥門施加過大的力矩或沖擊力，以免損壞閥門或影響其密封性能。蝕刻閘閥蝶形控制閥