利用不同構形的彈性敏感元件可測量各種物體的應力、應變、壓力、扭矩、加速度等機械量。半導體應變片與電阻應變片(見電阻應變片相比，具有靈敏系數高（約高 50～100倍）、機械滯后小、體積小、耗電少等優點。P型和N型硅的靈敏系數符號相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應力。早期的半導體應變片采用機械加工、化學腐蝕等方法制成，稱為體型半導體應變片。它的缺點是電阻和靈敏系數的溫度系數大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應用和發展。自70年代以來，隨著半導體集成電路工藝的迅速發展，相繼出現擴散型、外延型和薄膜型半導體應變片，上述缺點得到一定克服。半導體應變片主要應用于飛機、導彈、車輛、船舶、機床、橋梁等各種設備的機械量測量。提供： 反射器表面誤差，s（Φ）。 XY-跳動運動誤差，εX（Φ）和εy（Φ）。東莞激光干涉儀

阻尼時間

1 熱電系、熱線系及靜電系儀表，吊絲式儀表和指針長度大于150MM 的儀表，其可動部分的阻尼時間應不超過6S。其余的儀表應不超過4S。當被測量突然改變時，儀表指示器的前列次偏轉值與穩定后的偏轉值之比應不大于1.5。凡外電路電阻有規定范圍時，當電阻在這個范圍內變動時，其阻尼時間均應滿足要求。

2 測定儀表指示器的阻尼時間時，應遵守規定。測定阻尼時間時，應自被測之量開始改變(或放回指示器)時起，至指示器離結尾靜止位置不大于標度尺長度1%時止。在測定阻尼時間的同時，讀取指示器前列次偏轉值與穩定后的偏轉值，然后求出其比值。測定阻尼時間的具體規定如下：A.單向標度尺儀表——自接入被測量至指示器偏轉至標度尺幾何中心附近時測定；B.雙向對稱標度尺儀表——自斷開相當于標度尺最大值的被測量時測定；C.雙向非對稱標度尺儀表——自斷開或接通相當于標度尺全長一半的被測量時測定；D.比率表和無機械零位標度尺儀表——自改變被測量使指示器由始點移至標度尺幾何中心附近時測定。也允許接入約相當于標度尺幾何中心的被測量，再將指示器用機械方法移至標度尺的始點或終點，然后放回指示器的方法測定。測定阻尼時間時應測三次，取其平均值。 東莞激光干涉儀在環境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動器的任何振蕩。

高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm。這就意味著測量定位系統的精度要優于3×10的-8次方，相應的激光穩頻精度應該是10的-9次方數量級。

高速度。目前加工機械的速度已經提高到1m/sec以上，上世紀80年代以前開發研制的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領，其原因是后者的速度達到了1m/sec。

薄膜型半導體應變片

這種應變片是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍寶石上制成的。它通過改變真空沉積時襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低，從而控制電阻溫度系數和靈敏度系數。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補償薄膜應變片。薄膜型半導體應變片吸收了金屬應變片和半導體應變片的優點，并避免了它的缺點，是一種較理想的應變片。

外延型半導體應變片

這種應變片是在多晶硅或藍寶石的襯底上外延一層單晶硅而制成的。它的優點是取消了P-N結隔離，使工作溫度大為提高(可達300℃以上)。 在三個直徑為400、315和200μm的金屬圓筒上進行輪廓測量。

電測量指示儀表的分類可分為：（1）按相別分：單相、三相三線、三相四線等。（2）按功能及用途分：有功電表、無功電表、比較大需量表、復費率電表、多功能電表、銅損表、鐵損表等。（3）按工作原理分：感應式、電子式、機電式等。電力系統各類電表的技術要求（1）接入中注點絕緣系統的電能計量裝置，應采用三相三線有功、無功電表。接入非中性點絕緣系統的電能計量裝置，應采用三相四線有功、無功電表或3只感應式無止逆單相電表。（2）接入中性點絕緣系統的3臺電壓互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接線；35kV以下的宜采用V/V方式接線。接入非中性點絕緣系統的3臺電壓互感器，宜采用Y0/y0方式接線。其一次側接地方式和系統接地方式相一致。（3）低壓供電，負荷電流為50A 及以下時，宜采用直接接入式電表；負荷電流為50A以上時，宜采用經電流互感器接入式的接線方式。（4）對三相三線制接線的電能計量裝置，其2臺電流互感器二次繞組與電表之間宜采用四線連接。對三相四線制連接的電能計量裝置，其3臺電流互感器二次繞組與電表之間宜采用六線連接。緊湊，適用于設備集成。天津激光干涉儀測量

基于壓電的定位器（頂部）只在x軸上移動（5 nm步長）。東莞激光干涉儀

激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床:雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。數控機床動態性能檢測利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。東莞激光干涉儀

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