中清航科飛秒激光雙光子聚合技術:在PDMS基板上直寫三維微流道(最小寬度15μm),切割精度達±0.25μm,替代傳統光刻工藝,開發成本降低80%。中清航科推出“切割即服務”(DaaS):客戶按實際切割面積付費($0.35/英寸),包含設備/耗材/維護全包。初始投入降低90%,產能彈性伸縮±50%,適配訂單波動。中清航科共聚焦激光測距系統實時監測切割深度(分辨率0.1μm),閉環控制切入量。將150μm晶圓切割深度誤差壓縮至±2μm,背面研磨時間減少40%。
中清航科注重與科研機構的合作創新,與國內多所高校共建半導體切割技術聯合實驗室。圍繞晶圓切割的前沿技術開展研究,如原子層切割、超高頻激光切割等,已申請發明專利 50 余項,其中 “一種基于飛秒激光的晶圓超精細切割方法” 獲得國家發明專利金獎,推動行業技術進步。晶圓切割設備的軟件系統是其智能化的中心,中清航科自主開發了切割控制軟件,具備友好的人機交互界面與強大的功能。支持多種格式的晶圓版圖文件導入,可自動生成切割路徑,同時提供離線編程功能,可在不影響設備運行的情況下完成新程序的編制與模擬,提高設備利用率。泰州半導體晶圓切割代工廠晶圓切割大數據平臺中清航科開發,實時分析10萬+工藝參數。
晶圓切割是半導體封裝的中心環節,傳統刀片切割通過金剛石砂輪實現材料分離。中清航科研發的超薄刀片(厚度15-20μm)結合主動冷卻系統,將切割道寬度壓縮至30μm以內,崩邊控制在5μm以下。我們的高剛性主軸技術可適配8/12英寸晶圓,切割速度提升40%,為LED、MEMS器件提供經濟高效的解決方案。針對超薄晶圓(<50μm)易碎裂難題,中清航科激光隱形切割系統采用紅外脈沖激光在晶圓內部形成改性層,通過擴張膜實現無應力分離。該技術消除機械切割導致的微裂紋,良率提升至99.3%,尤其適用于存儲芯片、CIS等器件,助力客戶降低材料損耗成本。
面對高溫高濕等惡劣生產環境,中清航科對晶圓切割設備進行了特殊環境適應性改造。設備電氣系統采用三防設計(防潮濕、防霉菌、防鹽霧),機械結構采用耐腐蝕材料,可在溫度 30-40℃、濕度 60-85% 的環境下穩定運行,特別適用于熱帶地區半導體工廠及特殊工業場景。晶圓切割的刀具損耗是影響成本的重要因素,中清航科開發的刀具壽命預測系統,通過振動傳感器與 AI 算法實時監測刀具磨損狀態,提前 2 小時預警刀具更換需求,并自動推送比較好的更換時間窗口,避免因刀具突然失效導致的產品報廢,使刀具消耗成本降低 25%。中清航科切割機防震平臺隔絕0.1Hz振動,保障切割穩定性。
中清航科ESG解決方案:設備內置能源管理模塊,智能調節激光功率與主軸轉速,單次切割能耗降低42%。碳追蹤平臺每8小時生成減排報告,助力客戶達成碳中和目標,已獲全球25家代工廠采購認證。功率器件背面金層在切割中易翹曲。中清航科開發脈沖電流輔助切割,在刀片-晶圓界面施加微電流(<10mA),瞬時加熱至150℃軟化金層,剝離風險下降90%,剪切強度保持>45MPa。中清航科推出粉塵組分診斷系統:通過LIBS(激光誘導擊穿光譜)在線分析顆粒元素構成,自動推薦冷卻液配方調整方案。幫助客戶減少因金屬污染導致的芯片失效,良率提升1.2%。中清航科切割工藝白皮書下載量超10萬次,成行業參考標準。南京碳化硅陶瓷晶圓切割藍膜
中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認證,月產能達50萬片。金華晶圓切割
磷化銦(InP)光子晶圓易產生邊緣散射損耗。中清航科采用等離子體刻蝕輔助裂片技術,切割面垂直度達89.5°±0.2°,側壁粗糙度Ra<20nm,插入損耗降低至0.15dB/cm。中清航科SkyEye系統通過5G實時回傳設備運行數據(振動/電流/溫度),AI引擎15分鐘內定位故障根因。遠程AR指導維修,MTTR(平均修復時間)縮短至45分鐘,服務覆蓋全球36國。基于微區X射線衍射技術,中清航科繪制切割道殘余應力三維分布圖(分辨率10μm),提供量化改進方案。客戶芯片熱循環壽命提升至5000次(+300%),滿足車規級AEC-Q104認證。金華晶圓切割
中清航科(江蘇)科技有限公司在同行業領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創新的市場高度,多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準,在江蘇省等地區的數碼、電腦中始終保持良好的商業口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環境,富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新,勇于進取的無限潛力,中清航科科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!