致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態鎖相熱分析系統，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優化信噪比，實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。熱紅外顯微鏡在材料研究領域，常用于觀察材料微觀熱傳導特性。非制冷熱紅外顯微鏡原理
致晟光電的熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列 一一RTTLIT P10 實時瞬態鎖相熱分析系統，搭載非制冷型熱紅外成像探測器，采用鎖相熱成像（Lock-In Thermography）技術，通過調制電信號大幅提升特征分辨率與檢測靈敏度，具備高靈敏度、高性價比的突出優勢。該系統鎖相靈敏度可達 0.001℃，顯微分辨率可達 5μm，分析速度快且檢測精度高，重點應用于電路板失效分析領域，可多用于適配 PCB、PCBA、大尺寸主板、分立元器件、MLCC 等產品的維修檢測場景。 熱紅外顯微鏡測試熱紅外顯微鏡憑借高靈敏度探測器，實現芯片微米級紅外熱分布觀察，鎖定異常熱點 。
半導體制程已逐步進入 3 納米及更先進階段，芯片內部結構日趨密集，供電電壓也持續降低，這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統熱發射顯微鏡基礎上，經迭代進化而成的精密工具。在先進制程研發中，它在應對熱難題方面能提供一定支持，在芯片設計驗證、失效排查以及性能優化等環節，都能發揮相應的作用。其通過不斷優化的技術，適應了先進制程下對微觀熱信號檢測的需求，為相關研發工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息，助力研發人員更好地推進芯片相關的研究與改進工作。
RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學配置上的靈活性，可通過多種可選物鏡得以充分體現，為不同尺度、不同場景的熱分析需求提供精細適配。
Micro 廣角鏡頭擅長捕捉大視野范圍的整體熱分布，適合快速定位樣品宏觀熱異常區域，如整片晶圓的整體散熱趨勢觀測；0.2X 鏡頭在保持一定視野的同時提升細節捕捉能力，可用于中等尺寸器件（如傳感器模組）的熱行為分析，平衡效率與精度；0.4X 鏡頭進一步聚焦局部，能清晰呈現芯片封裝級的熱分布特征，助力排查封裝缺陷導致的散熱不均問題；1X 與 3X 鏡頭則聚焦微觀尺度，1X 鏡頭可解析芯片內部功能模塊的熱交互，3X 鏡頭更是能深入到微米級結構（如晶體管陣列、引線鍵合點），捕捉納米級熱點的細微溫度波動。
熱紅外顯微鏡能透過硅片或封裝材料，對半導體芯片內部熱缺陷進行非接觸式檢測。
熱點區域對應高溫部位，可能是發熱源或故障點；等溫線連接溫度相同點，能直觀呈現溫度梯度與熱量傳導規律。目前市面上多數設備受紅外波長及探測器性能限制，普遍存在熱點分散、噪點多的問題，導致發熱區域定位不準，圖像對比度和清晰度下降，影響溫度分布判斷的準確性。
而我方設備優勢是設備抗干擾能力強，可有效減少外界環境及內部器件噪聲影響，保障圖像穩定可靠；等溫線明顯，能清晰展現溫度相同區域，便于快速掌握溫度梯度與熱傳導情況，提升熱特性分析精度；成像效果大幅提升，具備更高的空間分辨率、溫度分辨率及對比度，可清晰呈現細微細節，為分析提供高質量的圖像支持。 熱紅外顯微鏡通過納秒級瞬態熱捕捉，揭示高速芯片開關過程的瞬態熱失效機理。廠家熱紅外顯微鏡成像
熱紅外顯微鏡可對不同材質的電子元件進行熱特性對比分析 。非制冷熱紅外顯微鏡原理
非破壞性分析（NDA）以非侵入方式分析樣品內部結構和性能，無需切割、拆解或化學處理，能保留樣品完整性，為后續研究留有余地，在高精度、高成本的半導體領域作用突出。
無損分析，通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像，全程無接觸，無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導體制造中，可識別晶圓晶體缺陷；封裝階段，能檢測焊接點完整性或封裝層粘結質量；失效分析時，可定位內部短路或斷裂區域的隱性熱信號，為根源分析提供依據，完美適配半導體行業對高價值樣品的保護需求。 非制冷熱紅外顯微鏡原理
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